空氣微粒濃度

大氣塵是潔淨室要直接處理的對象，在潔淨技術中，最常用的是以>0.5μm的微粒數量為準的計數濃度，以最乾淨的同温層(距地表10km)來説，這樣的微粒約有20粒/L，很乾淨的海面上空約有2600粒/L。

陸地上計數濃度差別極大，同一地區不同時間差別也很大，我國大氣計數濃度可粗分為“工業城市”、“城市郊外”、“非工業區或農村”，其>0.5μm的微粒濃度分別為1×106粒/L，2×105粒/L和3×105粒/L。