正硅酸乙酯分子式為(C2H5O)4Si,一種有機化合物,相對分子質量208.33。又名四乙氧基硅烷,簡稱TEOS。常温下硅酸乙酯為無色透明液體,有特殊臭味。無水存在下穩定,遇水分解成乙醇與硅酸,在潮濕空氣中變渾濁,溶於醇、醚等有機溶劑。熔點-77℃,沸點168.1℃。有毒。由四氯化硅和無水乙醇作用後經蒸餾而製得。用於制耐熱和耐化學腐蝕塗料和製備有機硅溶劑,也可用於有機合成,製備高級水晶的基本原料,光學玻璃處理劑、結合劑、電子工業的絕緣材料等。
正硅酸乙酯(C2H50)4Si的相對分子質量是
4×(2x12十1十5x16)十28=208.記作Mr=208