冷凍真空傳感器的基本原理是基於水的三態變化。
水有固態、液態和氣態,三種狀態既可以相互轉換又可以共存。 當水在三相點(温度為0.01℃,水蒸氣壓為610.5Pa)時,水、冰、水蒸氣三者可共存且相互平衡。在高真空狀態下,利用昇華原理,使預先凍結的物料中的水分,不經過冰的融化,直接以冰態昇華為水蒸汽被除去,從而達到冷凍幹燥的目的。