真空爐分壓原理

真空爐(vacuum furnace)是真空環境中進行加熱的設備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛中用管道與高真空泵系統聯接。爐膛真空度可達133×(10-2～10-4)h。爐內加熱系統可直接用電阻爐絲(如鎢絲)通電加熱，也可用高頻感應加熱。高温度可達3000℃左右。

在真空加熱爐中，為了防止工件的高蒸汽壓金屬元素在真空加熱階段揮發，一般都會採用通入惰性氣體提高總爐壓，傳統真空加熱爐採用針閥加電磁閥通斷、以及羅茨泵的變頻實現壓力調整，這種做法使得真空爐內爐壓波動大，分壓調整的範圍受針閥的開啟量影響，不能實現大範圍、精準的分壓控制。