原子光譜分析就是利用原子吸收或發射的特徵光譜，定性定量分析樣品元素組成。
原子光譜，是由原子中的電子在能量變化時所發射或吸收的一系列波長的光所組成的光譜。原子吸收光源中部分波長的光形成吸收光譜發射光子時則形成發射光譜。兩種光譜都不是連續的，且吸收光譜條紋可與發射光譜一一對應。每一種原子的光譜都不同，遂稱為特徵光譜。
測量出這些特徵光譜的構成，就能定性定量分析得到樣品的元素組成。
原子熒光光譜分析法：（AFS）它的基本原理是原子蒸氣吸收特徵波長的光輻射之後，原子被激發至高能級，在躍遷至低能級的過程中，原子所發射的光輻射稱為原子熒光。
優點
（1）有較低的檢出限，靈敏度高。特別對Cd、Zn等元素有相當低的檢出限，Cd可達0．001ng·cm-3、Zn為0.04ng·cm-3。現已有2O多種元素低於原子吸收光譜法的檢出限。由於原子熒光的輻射強度與激發光源成比例，採用新的高強度光源可進一步降低其檢出限。
（2）干擾較少，譜線比較簡單。採用一些裝置，可以製成非色散原子熒光分析儀。這種儀器結構簡單，價格便宜。
（3）分析校準曲線線性範圍寬，可達3～5個數量級。
（4）能實現多元素同時測定。由於原子熒光是向空間各個方向發射的，比較容易製作多道儀器，因而能實現多元素同時測定。
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