由於催化劑自身物理性質改變或催化劑表面結構發生物理變化導致的催化劑活性降低主要包括三種類型：燒結、堵塞、磨蝕。
1、 燒結
SCR脱硝催化劑在高温條件下長期運行後，TiO2會發生相轉變，由鋭鈦礦型轉為金紅石型同時，催化劑活性組分V2O5也會團聚形成大顆粒導致分散性降低。催化劑的比表面積和活性都會因此而下降。
固體催化劑的話，通常來講在反應過後物理性質都會有改變。
例如納米催化劑的話，反應過後比表面積，納米結構的尺寸都會有一定變化
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